技术参数:
1.电源:交流380V三相五线制 50HZ
2.功率:45KW
3. 设备利用率:≥98%
4. 碎片率:≤0.01%
产品优势:
机械臂配备防撞、防压保护系统,有效保护设备及硅片的安全;
精准的温控系统,保证清洗过程中工艺的稳定。
产用高精度配补液系统,保证药液均匀性