技术参数：
1．电源：交流380V三相五线制 50HZ
2．功率：45KW
3. 设备利用率：≥98%
4. 碎片率：≤0.01%
产品优势：
机械臂配备防撞、防压保护系统，有效保护设备及硅片的安全；
精准的温控系统，保证清洗过程中工艺的稳定。
产用高精度配补液系统，保证药液均匀性
